安徽皖南電機廠家關于靜電電機的特點

第一、與電磁式電動機相比，靜電電動機能量轉換效率高。因此,小型化的靜電電動機的電場能量密度可與電磁式電動機的磁場能量密度相比擬。

第二、從結構上講，靜電電動機結構簡單，電極表面所產生的電場強度與電極的厚度無關，電極和配線的截面積可以做得很小。

第三、靜電電動機的電場強度只受絕緣材料性能的限制,縮小尺寸并不影響電場強度,產生的力與表面積成正比，通常絕緣材料的尺寸越小，性能越強。根據帕邢(Paschen) 定律，間隙越小,空氣電火花所產生的電場強度急劇增大。例如硅氧化膜這種絕緣材料，其絕緣強度可達幾百kV/ mm。

基于靜電電動機的這些特點，各國開始了對小型化靜電電動機的研究。隨著電子技術的高速發展，硅加工工藝逐漸成熟,集成電路加工尺寸可以做到深亞米級。在此背景下，美國加利福尼亞大學berkeley 分校的Muller 在1987 年提出在1μm～1mm 范圍內制作以硅集成工藝為基礎的具有智能化結構的MEMS 概念，到1989 年，該校學生L. S. Fan等人成功地在硅片上制作出直徑為120μm 的靜電電動機(其結構如圖7 所示） 。從此，靜電電動機的研制主要集中在了超微型結構上。